MolemmatTyhjiöpumppu ja kompressoriovat laitteita kaasun käsittelyyn, mutta niiden käyttöperiaatteet ja soveltamisalueet ovat erilaisia.
Tyhjiöpumpun päätehtävä on kaasun poistaminen reaktiokammiosta säiliön paineen vähentämiseksi ennalta määritetyn tyhjiöasteen saavuttamiseksi. Kaasu uutetaan tilasta imu- ja pakokaasumekanismin avulla tyhjiötilan muodostamiseksi. Tyhjiöpumppuja käytetään yleensä laboratorioissa, tuotanto- ja valmistuskentissä. Kiekkofebeissä, etsauslaitteissa, laskeutumislaitteissa, EUV -litografialaitteissa, ionin implantointilaitteissa, havaitsemis- ja karakterisointilaitteissa jne. Kaikki on tyhjöttävä.
Kompressorin tehtävänä on hengittää kaasua ja puristaa se, lisätä kaasun painetta, puristaa kaasua pienempään tilavuuteen ja lisätä kaasun tiheyttä ja painetta. Sen toimintaperiaatteena on pakata kaasu pakoventtiilin läpi ja laittaa sitten paine kaasu kaasusäiliöön tai muihin laitteisiin. Kompressoreita käytetään yleensä prosessointi- ja valmistuskenttiä. Kompressori tarjoaa CDA -kaasua, josta puhumme usein. CDA: ta käytetään erilaisten automaatiolaitteiden ja venttiilien hallintaan. Puolijohteiden valmistuksessa CDA: n on oltava erittäin puhdasta ja kuivaa. Kompressorin ilman ulostulon on läpäistävä hienostuneen suodatusjärjestelmän läpi öljyn, kosteuden ja muiden hiukkasten poistamiseksi sen varmistamiseksi, että kiekkoa ei saastu.
Mitkä ovat luokatTyhjiöpumppu ja kompressori?
Puolijohdelaitteissa käytetään yleisesti kuivia pumppuja ja molekyylipumppuja. Kuivapumppu viittaa tyhjiöpumppuun, joka ei käytä nestettä tiivistys- tai jäähdytysväliaineeksi välttäen öljyhöyryn saastumisen ongelmaa. Sitä käytetään yleensä puolijohdelaitteiden karkeaan tyhjiöpoistoon. Molekyylipumput voivat saavuttaa erittäin korkeat tyhjiötasot. Kuivia pumppuja ja molekyylipumppuja käytetään usein yhdessä puolijohdelaitteissa erilaisten tyhjiötasojen tarpeiden tyydyttämiseksi.
Kompressorit voidaan jakaa mäntään, ruuviksi, keskipakoihin, pyöriviin siipien ilmakompressoreihin jne.
Tyhjiöpumpun ja kompressorin erilaisten mallien ja työperiaatteiden vuoksi tyhjiöpumput eivät yleensä pysty korvaamaan kompressoreita. Vaikka tyhjiöpumput voivat vähentää kaasujen painetta ja tiheyttä, ne eivät voi puristaa kaasuja pienempiin tilavuuksiin ja suurempiin paineisiin. Lisäksi tyhjiöpumppujen rajoitetun suorituskyvyn ja työominaisuuksien vuoksi ne sopivat parhaiten matalatiheyksisten kaasu- ja matalapaineympäristöjen käsittelyyn.
Siksi, jos kaasua on puristettava pienempään tilavuuteen ja suurempaan paineeseen, tulisi käyttää kompressoria. Päinvastoin, jos kaasu on uutettava ja muodostuu tyhjiötila, tulisi käyttää tyhjiöpumppua.
Vaikka molemmatTyhjiöpumppu ja kompressoriovat laitteita, joita käytetään kaasun käsittelyyn, suunnittelu- ja työperiaatteessa on suuria eroja. Vaikka tyhjiöpumppu voi vähentää kaasun painetta ja tiheyttä, se ei voi korvata kompressoria, varsinkin kun kaasu on puristettava pienempään tilavuuteen ja suurempaan paineeseen.
